洁净室(区)尘埃粒子数测试记录表参考

发布日期:2021-12-03 06:49 浏览次数:
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                                                                     文件编号:XXX

检测编号:

被测单位

 

洁净级别

 

气流形式

 

测试状态

  

检测日期

 

测试依据

 

报告日期

 

测试仪器厂家及编号:

 

记录0.5μm5μm粒子数:采样流量为2.83L/min;采样周期为1min;(单位:/m3

洁净室/



粒子
直径

C1

C2

C3

平均值A=C1+C2+C3
  3
           

平均值的均值
M=(A1+A2)/L

标准误差
SE

置信上限UCL=M +t×SE

结果
评定

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm